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    2026
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    08
    干法 / 湿法刻蚀后(After Dry/Wet Etchi...
    摘要干法刻蚀(Dry Etching)、湿法刻蚀(Wet Etching)是半导体晶圆(Wafer)加工核心工艺,刻蚀工序会改变晶圆衬底微观形貌,而晶圆表面粗糙度...
    干法 / 湿法刻蚀后(After Dry/Wet Etching),采用白光干涉仪测量晶圆表面粗糙度
    17
    2026
    -
    08
    骨植入体 端面平面度形变白光干涉仪强化贴合稳定性
    骨植入体(Bone Implant)的端面平面度(End Face Flatness)是影响植入体与骨组织、配套假体贴合精度的关键形位指标。在精密切削、抛光、热处...
    骨植入体 端面平面度形变白光干涉仪强化贴合稳定性
    17
    2026
    -
    08
    盘片热处理形变导致平面度超标(Flatness Overli...
    机械硬盘(Hard Disk Drive, HDD)超薄精密金属盘片的热处理(Heat Treatment)工序,用于释放基材残余应力、稳定盘面形貌精度,是硬盘精...
    盘片热处理形变导致平面度超标(Flatness Overlimit),光学轮廓仪锁定机械硬盘热加工工艺异常
    17
    2026
    -
    08
    白光干涉仪(White Light Interferomet...
    摘要超薄薄膜(Ultra‑thin Film)是半导体晶圆(Wafer)、微机电系统(MEMS)器件、钙钛矿光电器件的核心功能性薄膜材料。其磁控溅射(Magnet...
    白光干涉仪(White Light Interferometer, WLI)全域成像技术对超薄薄膜(Ultra-thin Film) 批量制备工艺异常的识别与分析
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