白光干涉仪（White Light Interferometer, WLI）借助短相干干涉原理，在小视场条件下实现亚纳米级垂直测量精度已较为成熟，可稳定输出 Ra、Sa、PV 等三维形貌参数。但光学系统固有约束造成行业核心技术矛盾：大视场（Large Field‑of‑View）与横向高分辨率二者难以同时兼顾。

若选用大视场物镜，成像范围得到拓展，但单像素对应的物理尺寸增大，横向分辨率下降，微小微观缺陷、纹理细节容易被平滑丢失；若更换高分辨率物镜，横向分辨能力提升，又会压缩单帧视场，必须依靠图像拼接（Image Stitching）实现大面积检测。图像拼接依赖运动平台性能，极易引入机械误差（Mechanical Error），产生错位、畸变伪像，降低测量重复性（Repeatability），同时难以满足 ISO‑4287、ISO‑25178 的取样评定规范。

传统方案往往只能二选一：要么小视场保证细节分辨，要么大视场牺牲细节保真。该难点直接影响半导体、精密光学、高频 PCB 等领域检测效果：大视场

WLI 1000 系列参数取自设备官方白皮书及公开招标技术资料；ZYGO 各机型参数来源于原厂技术手册、官方产品公示及政府采购公开文件，全部技术数据均可公开溯源。

德国 WLI 大视场技术核心优势

WLI 大视场 3D 白光干涉仪有效弥补传统干涉仪视场范围有限、缺少原生低倍物镜的行业短板，兼顾大视野观测能力与纳米级测量精度。设备可一体化完成工件三维形貌表征、几何尺寸检测、微观缺陷识别分析，适配半导体、精密光学、超精密加工行业的质量管控与科研测量需求。

大视场与高精度一体化测量能力

设备配置专属 0.6× 大视场物镜，突破行业传统设备 1× 倍率起步的限制，原厂标定最大成像视场可达 15.5mm。依托一体化电动转台架构，实现大视场宏观观测与纳米级微观测量的无缝切换，无需拆装镜头或者更换设备，大幅提升批量样品检测效率，保障多组测试数据的一致性。

设备可稳定完成 14mm 端面平面度高精度检测，具备 0.006nm 级超高粗糙度检测性能，能够精准解析 Ra、Rz 等关键表面粗糙度指标，满足超精密器件严苛的纳米量级测量要求。

工业场景核心应用价值

光学镜头若 PV/RMS 面形参数不达标，会造成光路发生偏移，直接导致焦距、成像视场、分辨率等核心光学参数失效，造成镜头整体性能报废。

在半导体 CMP 工艺环节，研磨碟盘金刚石颗粒共面度、金刚石出露高度的一致性，会直接影响抛光工艺效果，决定晶圆成品良率以及耗材的实际使用寿命。

球友会qy半导体｜专业白光干涉 3D 轮廓测量方案。亚纳米精度保障，支持自动化定制；高端系列对标国际一线品牌，大视野设计，轻松应对高低反射、复杂材料测量场景。

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